ScAlN 結晶成長ラボ

READY
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Al N Sc
Sc組成 x = 0.000
基板側破線:設計 棒:成膜済み表面側
600

5
1

※モード・極性・積層数・難易度・傾斜の設定を変えるとリセットされます

リズム成膜の結果

構造の評価
A
0PERFECT
0GOOD
0MISS
0空打ち
最大コンボ 0
平均組成 x = 0(目標 )
層ごとの組成(破線が目標)
基板側表面側
目標からのずれ(層ごとのRMS) 0