ScAlN 結晶成長ラボ
READY
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Al
N
Sc
温度 (°C)
600
極性
Al極性
N極性
積層数
5
堆積速度
1
※設定変更でリセットされます
↺
▶ 成膜開始
❚❚ 一時停止
+Sc 注入