電子プローブマイクロアナライザ― (EPMA)

日本電子株式会社(JEOL)製の元素分析装置． 電子線を試料に照射して出てくる特性X線のスペクトルから，試料に含有されている元素を定量的に調べることができる． より正確な定量性を要求する場合は，対応する元素の標準試料が必要． 同定可能な元素は周期表のBからUまで． 当研究室で管理するEPMAの線源は，タングステン(W)フィラメント． 空間分解能は試料の密度や加速電圧・照射電流量によって変わりるが，通常使用では数 μm程度． さらに，SEM像も撮影可能．

EPMA

*東京理科大学研究推進機構研究機器センターの装置で登録番号は1053D．

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