蒸着源を乗せたタングステンボートに電流を流し蒸着源を加熱・蒸発させ,ターゲットに蒸着する装置. 油拡散ポンプと油拡散ポンプで高真空環境下にして蒸着する.
試料表面を平らに研磨するために使用. EPMAのステージにマウントする試料や,軸性圧力をかける試料では,表面の平滑さが求められる. そのため活躍する機会が多い.
試料育成用の石英管を加工するために使用.試料育成の醍醐味