平成18~27年度研究会開催状況

第172回研究会 弘済会館 (平成18年6月23日(金))

1.「EIPBN2006国際会議報告」
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所  松井 真二

2. 「光ナノインプリント」
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 インプリント製造技術研究グループ  廣島 洋

3. 「熱ナノインプリント/ナノキャステング」
大阪府立大学大学院 工学研究科  平井 義彦

4. 「室温ナノインプリント」
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所  中松 健一郎


第173回研究会 弘済会館 (平成18年9月15日(金))

1.「カーボンコートLaB6カソード」
ニューフレアテクノロジー  斎藤 賢一, Victor Katsap, Rodeny Kendall, Scott Messik

2. 「写像投影型電子線欠陥検査装置 -概要と光学特性-」
荏原製作所 精密・電子事業カンパニー  村上 武司

3. 「高精度スポット型電子線描画装置」
日本電子  會田 征徳

4. 「収差補正器を備えたSTEM装置の特徴と応用」
日立ハイテクノロジーズ  砂子沢 成人


第174回研究会 ホテルサンバレー富士見 (平成19年1月25日(木))

1.「高分解能低・中加速SEM/STEMと次世代高分解能技術」
日立製作所・中央研究所  上村 理

2. 「Aberration Correction in SEM and FIB」
日本電子  M. Matsuya, K. Sakaguchi, Y. Okano, S. Itose and J. Zach

3. 「電子ビームマスク描画装置EBMシリーズ」
ニューフレア  小川 洋司

4. 「パターンドメディア作成用高精度回転型EB直描装置の描画技術」
エリオニクス  伊藤 高臣


第175回研究会 ホテルサンバレー富士見 (平成19年1月26日(金))

1.「FIB-CVDによる電子エミッターの作成と特性評価」
兵庫県立大学  米谷 玲皇、松井 真二

2. 「FIBマイクロサンプリングを用いた3次元解析技術」
日立ハイテクノロジーズ  東 淳三

3. 「FIB/SEM複合装置を用いた高品位TEM試料作成技術の紹介」
SII  山本 洋、岩崎 浩二、藤井 利昭、八坂 行人

4. 「ナノマイクロサイズのイオンビームを用いた加工装置」
エリオニクス  上柿 順一


第176回研究会 弘済会館 (平成19年6月29日(金))

1.「 EIPBN2007国際会議報告」
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所  松井 真二

2. 「アルミナノホールアレーの形成とナノインプリントへの応用」
首都大学東京/KAST  益田 秀樹

3. 「UVナノインプリントリソグラフィの最近の進展」
モレキュラー・インプリンツ・インク  和田 英之

4. 「ナノインプリントプロセス装置の現状と課題(大面積化へのアプローチ)」
東芝機械(株)  後藤 博史


第177回研究会 東京大学先端科学技術研究センター (平成19年9月21日(金))

1.「 多段多極子電子光学系シミュレーション」
(株)荏原製作所 村上武司

2. 「電子ビーム描画シミュレーション技術(取消し)」
大阪工業大学 小寺正敏

3. 「マルチビームML2システム要素技術の開発」
キヤノン(株)製品技術研究所 後藤 進 ○奥貫昌彦

4. 「らせん状のイオン軌道を持つ飛行時間質量分析計の開発」
日本電子(株) 佐藤貴弥、佐藤崇文、田村淳

5. 「最近の質量分析装置」
大阪大学 石原盛男


第178回研究会 弘済会館 (平成19年11月16日(金))

1.「イオン注入表層・表面改質の現状―SMMIBにおける最近の動向―」
埼玉工業大学 岡部芳雄

2. 「物理蒸着法による高分子薄膜形成の現状と今後の展開」
東京農工大学 臼井博明

3. 「プラズマイオン注入成膜法による高密着性DLCコーティングと工業応用」
兵庫県立大学 八束充保
栗田製作所  西村芳美

4. 「イオン注入応用技術によるナノ粒子構造作製とナノパターンニングへの展開」
物質・材料研究機構 岸本直樹,武田良彦,雨倉宏
筑波大学 Jin Pan,中村雅英


第179回研究会 弘済会館 (平成20年1月25日(金))

1.「EB直接露光技術の開発動向」
富士通(株)有本 宏

2. 「マルチビーム方式に関する一考察」
(株)アドバンテスト 安田 洋、山田 章夫

3. 「低エネルギー電子ビーム描画に関する考察」
(株)東芝 中辻 哲郎

4. 「電子ビーム描画シミュレーション技術」
大阪工業大学 小寺 正敏

5. 「高エミッタンス電子源用材料の課題」
室蘭工業大学 安達 洋

6. 「高感度且つ低LERをもつ電子線レジストの開発」
兵庫県立大学 渡邊 健夫

7. 「非接触原子間力顕微鏡による原子識別」
大阪大学 西 竜治、李 仁淑、宮川 大輔、森田 清三


第180 回研究会 日本教育会館 (平成20年6月27日(金))

1.「EIPBN08国際会議報告」
兵庫県立大学 松井 真二

2. 「電子ビーム欠陥検査装置を用いた次世代プロセスにおける検査技術の紹介」
東京エレクトロン 西澤 秀介

3. 「高精度線幅測定技術の紹介」
日立ハイテクノロジーズ 渕本 大輔

4. 「石英掘り込みマスクの検査、修正方法とその問題点」
HOYA 西田 直樹

5. 総合討論


第181回研究会 弘済会館 (平成20年9月12日(金))

1.「医用X線検出器の開発」
㈱島津製作所 岡村 昇一

2. 「電子ビームによるLCD基板の検査」
㈱島津製作所 篠原 真

3. 「液浸ArF露光に対応するエリアイメージマスク検査技術」
アプライドマテリアルズジャパン㈱ 堀岡 啓治

4.「低加速高分解能SEMとその応用」
日立ハイテクノロジーズ㈱ 青木 康子

5. 「Gaイオンビームと電子ビームを用いるマルチビーム装置とその応用」
日本電子㈱ 鈴木 俊明

6. 総合討論


第182回研究会 日本教育会館 (平成20年11月28日(金))

1.「収差補正機能付走査透過電子顕微鏡HD-2700と最新アプリケーションの紹介」
(株)日立ハイテクノロジーズ 稲田 博実

2. 「EDS搭載の分析電子顕微鏡と蛍光X線分析装置の特徴」
日本電子(株) 高橋秀之

3. 「小型電子線鏡筒MINI-EOC、高性能ウェハ・マスク破断装置AMCの紹介」
(株)アプコ 森口 幸一

4. 「卓上型走査電子顕微鏡Tiny-SEMの紹介」
(株)テクネックス工房 大野輝昭

5. 「トリプルビームと応用技術」
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) 岩崎 浩二

6. 「EBスコープ製品紹介:EBS3000による半導体コンタクトホール計測」
(株)トプコン 大類孝太

7. 「収差補正装置組込マスク測定用CD-SEM」
(株)ホロン 中村直行

8. 「ナノシリコン弾道電子面放出素子を用いたsub-30 nm解像度の一括露光装置開発」
(株)クレステック 小島 明

9. 「電子ビームマスク描画装置 EBM-6000 PLUS」
(株)ニューフレアテクノロジー 服部 清司

10. 「電子ビーム描画装置の動向について(超高精度電子ビーム描画装置ELS-7000、高精細電子線ディスクマスタリング装置)」
(株)エリオニクス 伊藤太郎

11. 「Electron Optics Software for Curved Axis Systems and Aberration Correctors.」
Munro's Electron Beam Software Ltd.  Eric Munro & John Rouse


第183回研究会 弘済会館 (平成20年12月16日(火))

1.「イオンビーム照射した高分子の医療応用」
理化学研究所・先端技術基盤部門 鈴木 嘉昭
東京女子医大・脳神経外科    氏家 弘
ベイラー医科大学・人工臓器部門 杉田 洋一

2. 「低エネルギーイオンビームのメタルフリー空間電荷中和」
科学技術振興機構・JSTイノベーションプラザ京都 竹内 光明
京都大学・工学研究科 後藤 康仁、辻  博司、石川 順三

3. 「PSIIによる材料の表層改質とDLC膜形成および産業への応用」
長崎県工業技術センター 馬場 恒明

4. 「プラズマイオン注入を用いた成膜・改質技術とその応用」
金沢工業大学 作道 訓之、池永 訓昭

5. 「IBMM2008国際会議報告」
物質・材料研究機構・量子ビームセンター 雨倉 宏

6. 総合討論


第184回研究会 弘済会館 (平成21年1月30日(金))

1.「電子ビーム描画装置」
日本電子 佐本 典彦

2. 「EBM-7000電子光学系」
ニューフレアテクノロジー 上久保貴司

3. 「高分解能投影型X線顕微鏡」
東研  斎藤  泰

4. 「収差補正器付き低加速SEM」
日立製作所  廣瀬 琴子

5. 総合討論


第185回研究会 日本教育会館 (平21年6月26日(金))

1. 「EIPBN09国際会議報告」
産業技術総合技術研究所 廣島 洋

2. 「電子ビーム描画による大面積モールドの作製」
(株)ホロン 安宅 正志

3. 「プロトンビーム描画による高アスペクト比を有するモールドの作製とその大面積化の課題」
芝浦工大 西川 宏之

4. 「モールド作製技術と高速転写技術」
東芝機械(株) 小久保 光典

5. 「ナノ・マイクロスケールの検査・計測技術におけるマクロ検査技術の応用」
(株)レイテック 小瀧 健一


第186回研究会 弘済会館 (平成21年9月4日(金))

1.「T-MOLを応用したEUVマスク検査装置の開発」
株式会社トプコン 樋口 朗

2. 「近軸軌道計算法の非近軸軌道への応用:電子銃解析ソフトG-optkの開発」
株式会社島津製作所  藤田 真

3. 「 磁界・静電界複合光学系SEMと観察応用事例」
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社      立花 繁明

4. 「SEMによる非導電試料の帯電回避観察法へのアプローチ」
名城大学理工学部 池田 晋

5. 「SEMによる半導体観察技術」
株式会社日立ハイテクノロジーズ       坂 直磨

6. 「SEMによる極低加速高分解能観察」
日本電子株式会社 新澤 雄彦


第187回研究会・第2回先端ビームテクノロジー技術・製品紹介セミナー 日本教育会館 (平21年10月23日(金))

1. 「技術紹介-単原子電子源の実用化-」
(株)アプコ  森口 幸一

2. 「大気圧走査顕微鏡 Clair Scope の紹介」
日本電子(株) 須賀 三雄

3. 「日立 FIB/SEM装置の機能と応用」
(株)日立ハイテクノロジーズ  梅村  馨

4. 「集束イオンビーム装置 新製品SMI500の紹介」
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) 清原 正寛

5. 「ヘリウムイオン顕微鏡」
Carl Zeiss 足立 達哉

6. 「EB直描機の現状と今後」
(株)アドバンテスト  駒見 英明

7. 「面電子源を応用したMEMS/NEMS用一括EBステッパーの試作」
(株)クレステック  小島  明

8. 「電子ビーム描画装置EBM-7000」
(株)ニューフレアテクノロジー  西村理恵子

9. 「Simulation and Measurement in SEM: beam size, SEM image, and feature size of a pattern」
aBeam Technologies, Inc. S. Babin

10. 「電子光学系のシミュレーションと設計・製作」
Electron Optics Solutions  津野 勝重


第188回研究会 弘済会館 (平21年11月27日(金))

1.「SMMIB2009国際会議報告」
埼玉工業大学  岡部 芳雄

2. 「ナノダイヤモンドを含む高硬度、導電DLC成膜技術と産業応用」
プラズマイオンアシスト  鈴木 泰雄

3. 「負イオンビームによる材料表面の細胞接着性制御とその応用」
京都大学  辻 博司

4. 「重イオンビーム育種技術の開発と実用化」
理化学研究所  阿部 知子

5. 「高精度放射線治療装置用C-Band電子リニアックシステムの開発」
三菱重工業  神納 祐一郎


第189回研究会 弘済会館 (平成22年1月29日(金))

1.「イオン源」
中部大学  石川 順三

2. 「LaB6エミッタの結晶面の選択成長」
静岡大学  安達 洋

3. 「電子ビーム源」
住友電工  西林 良樹

4. 「電子ビーム直接描画技術」
イー・シャトル  町田 泰秀

5. 「電子ビーム描画装置」
エリオニクス  田口 佳男


第190回研究会 弘済会館 (平成22年6月18日(金))

1.「斜入射ビームによる三次元計測へのアプローチ」
株式会社トプコン 加藤 雅也

2. 「SEM/TEM用電子線検出器の諸特性」
浜松ホトニクス株式会社 須山 本比呂

3. 「SEM/TEM用マイクロカロリメーターX線検出器」
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 田中 啓一

4. 「高ユーザビリティと高分解能を両立した走査透過/透過電子顕微鏡の開発」
日本電子株式会社 松下 光英

5. 「収差補正STEMを用いた界面研究最前線」
東京大学 幾原 雄一


第191回研究会 弘済会館 (平成22年7月30日(金))

1.「EIPBN09国際会議報告(ナノインプリント関連)」
産業技術総合技術研究所 廣島 洋

2. 「EIPBN09国際会議報告(電子・イオンビーム関連)」
日本電子(株) 佐本 典彦 

3. 「ASNIL(アジアナノインプリント)国際会議報告」
大阪府立大学 平井 義彦

4. 「蛍光レジストによるナノインプリント転写評価」
東北大学 中川 勝

5. 「超微細高加工用125kV電子ビーム描画装置ELS-F125」
(株)エリオニクス 土田 智之


第192回研究会(第3回先端ビームテクノロジー技術・製品紹介セミナー) 弘済会館 (平成22年10月8日(金))

1. 「S(T)EMアレイ検出器の紹介」
(株)アプコ 小粥 啓子

2. 「Cryo-FIBシステムの紹介」
日本電子(株) 鈴木 俊明

3. 「日立120kV透過電子顕微鏡」
(株)日立ハイテクノロジーズ 田中 弘之

4. 「CSELによるラージフィールド一括EB露光」
(株)クレステック 小島 明、菅田 正徳、大井 英之

5. 「電界放射陰極を適用した高感度撮像デバイス(およびNHK放送技術研究所の最近の研究成果)」
NHK放送技術研究所 撮像・記録デバイス研究部 瀧口 吉郎

6.「装置開発会社の社員がお客様になる学会CPO」
Electron Optics Solutions津野 津野 勝重


第193回研究会 産総研・つくば西事業所 (平成22年11月19日(金))

1. 「Heイオン顕微鏡技術の紹介とその応用及び課題」
産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター 小川 真一

2. 「最近のGa-FIB技術の紹介」
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) 八坂 行人


第194回研究会 弘済会館 (平成23年1月28日(金))

1.「ショットキー陰極の性状」
静岡大学 安達 洋

2. 「LaB6ナノワイヤ電界放出電子源」
物質・材料研究機構 唐 捷

3. 「収差補正応用」
日立中研 中野 朝則

4. 「Li原子の観察」
大阪大学 大島 義文

5. 「フォトニック結晶による光制御の現状と将来展望」
京都大学  野田 進


第195回研究会 弘済会館 (平成23年6月17日(金))

1.「EIPBN2011国際会議報告(ナノインプリント関係)」
兵庫県立大学 松井 真二

2. 「EIPBN2011国際会議(ビームテクノロジー関係)」
大阪府立大学 安田雅昭

3. 「電子ビーム描画によるロールモールドの作製」
東京理科大学 谷口 淳

4. 「LEDの動作原理」
(株)東芝 波多腰 玄一

5. 「LED発光素子表面への微細構造形成用ロールツロールナノインプリント装置」
東芝機械(株) 西原 浩巳


第196回研究会 日本教育会館 (平成23年7月29日(金))

1. 「空間電荷効果のドリフト管による低減作用」
裏 克己

2. 「2段MirrorによるCc/Cs同時補正法の提案」
トプコン 小池 紘民、菅原 真幸、岡田 真一、樋口 朗
Munro's Electron Beam Software Rouse John、Munro Eric

3. 「直交配置型SEM-FIBの特徴と金属材料観察への応用」
物質・材料研究機構 原 徹

4. 「超高圧電顕内その場観察法による非平衡物質極微プロセス研究」
大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター 保田 英洋

5. 「九州大学の新超高圧電子顕微鏡の現状と応用例」
九州大学・超高圧電子顕微鏡室、九州大学・工学研究院 松村 晶、安田 和弘、東田 賢二


第197回研究会 「第4回先端ビームテクノロジー技術・製品紹介セミナー」 弘済会館 (平成23年10月7日(金))

1.「フルフィールドEB一括露光装置の開発」
(株)クレステック 小島  明

2. 「次世代のマスク描画装置:EBM-8000について」
(株)ニューフレアテクノロジー 吉武 秀介

3. 「最新FIB装置の紹介」
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) 満  欣

4. 「最新インレンズFE-SEM SU-9000の紹介」
(株)日立ハイテクノロジーズ  岡田  聡

5. 「新型FE-SEM JSM-7800Fの紹介」
日本電子(株) 齋藤 学、朝比奈 俊輔、山本 康晶

6. 「新しい光学顕微鏡EXA(Electron-beam Excitation Assisted)顕微鏡の開発」
(株)アプコ  小粥 啓子


第198回研究会 弘済会館 (平成23年12月9日(金))

1.「マイクロ・ナノ工学国際会議(ICMNE2011)報告」
大阪工業大学・工学部 小寺 正敏

2. 「種々の材料に対するイオンビーム照射効果」
工学院大学・工学部 鷹野 一朗

3. 「産総研ヘリウムイオン顕微鏡技術の現状と世界の動向-第58回AVSでの発表から-」
産業技術総合研究所・ナノデバイスセンター 小川 真一 

4. 「低加速電子顕微鏡による単分子・単原子の観察」
産業技術総合研究所・ナノチューブ応用研究センター 末永 和知

5. 「収差補正STEMイメージングによる準結晶構造解析」
東京大学・工学系研究科 阿部 英司


第199回研究会 弘済会館 (平成24年1月20日(金))

1.「マスク修正のための新しいFIB技術の開発」
エスアイアイ・ナノテクノロジー 荒巻 文朗

2. 「顕微メスバウア分光装置の空間分解能向上」
静岡理工科大学 吉田 豊

3. 「ダブルコレクターを用いた共焦点STEM観察」
物質・材料研究機構 三石 和貴

4. 「CP露光機能を用いたEBデバイス製造技術」
イー・シャトル 丸山 隆司

5. 「rθ機を用いたパターンドメディア用ナノインプリント原盤描画」
HOYA 山下 浩


第200回研究会「第1回荷電粒子ビーム基礎講座」 産業技術総合研究所 臨海副都心センター (平成24年2月17日(金))

1.「電子光学の基礎I 静電磁界中の電子軌道(近軸軌道と収差)」
大阪大学 鷹岡 昭夫

2. 「イオン源工学の基礎」
中部大学 石川 順三

3. 「電子ビームと物質の相互作用、電子散乱の基礎」
大阪工業大学・工学部 小寺 正敏


第201回研究会 弘済会館 (平成24年6月15日(金))

1.「EIPBN2012国際会議報告(ナノインプリント関連)」
東京理科大学 基礎工学部 谷口  淳

2. 「EIPBN2012国際会議報告(電子・イオンビーム関連)」
兵庫県立大学 高度研 松井 真二

3. 「走査プローブ顕微鏡によるナノインプリント評価」
兵庫県立大学 高度研 岡田  真

4. 「ダブルパターニングの最新動向」
東京エレクトロン(株) 八重樫 英民

5. 「集束ガスイオンビーム装置の開発とマスクリペアへの応用」
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) 八坂 行人


第202回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成24年10月5日(金))

1.「高精度スポット型電子ビーム描画装置の開発」
日本電子(株) 曾田 征徳 

2. 「130kV超高解像度高安定電子ビーム描画装置CABL-UHの開発」
(株)クレステック 沖野 輝明

3. 「新型卓上SEMの開発~小さくても大きな可能性~」
日本電子(株) 武藤 仁美

4. 「マトリクス面電子源のマルチビーム用電子光学系開発試作」
(株)クレステック 小島 明

5. 「リアルタイム3DアナリティカルFIB-SEMの特徴と三次元解析における応用」
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) 満  欣


第203回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成24年12月14日(金))

1.「MNE2012国際会議報告」
日本電子 佐本 典彦

2. 「放射光施設における硬X線ナノビーム形成の現状と将来」
大阪大学 工学研究科 山内 和人

3. 「Heイオン顕微鏡技術の最近の動向と研究成果の紹介」
産業技術総合研究所 小川 真一

4. 「多分割検出器の開発と原子分解能STEMへの応用」
東京大学 工学系研究科 柴田 直哉
Monash University Scott D. Findlay
東京大学 工学系研究科 幾原 雄一

5. 「自動収差補正機能を搭載した球面収差補正器の開発」
日立ハイテクノロジーズ 田村 圭司


第204回研究会 弘済会館 (平成25年1月18日(金))

1.「シリコンフォトニクス大規模集積回路開発に向けた電子ビーム露光技術」
産業技術総合研究所 堀川 剛

2. 「先端EBレジストの開発動向」
㈱富士通研究所 今 純一 

3. 「集束イオンビームによるナノメカニクス研究」
東京大学 工学研究科 米谷 玲皇

4. 「収差補正TEMとステージスキャンシステムを用いた歪マッピング手法検討」
東芝ナノアナリシス(株) 上杉 文彦


第205回研究会 「第2回荷電粒子ビーム基礎講座」 産業技術総合研究所センター (平成25年2月15日(金))

1.「電子銃の基礎」
ニューフレアテクノロジー 斎藤 賢一

2. 「静電磁界の解析法」
Electron Optics Solutions Tsuno 津野 勝重

3. 「イオンビームと物質の相互作用の基礎」
中部大学 石川 順三

4. 「電子ビームと物質の相互作用、電子散乱の基礎(2)」
大阪工業大学 小寺 正敏


第206回研究会 弘済会館 (平成25年6月21日(金))

1.「EIPBN2013国際会議報告」
東京理科大学 谷口  淳

2. 「大面積高速EBリソグラフィーを用いた微細円筒モールドの開発」
旭化成 阿部 誠之

3. 「STEM像のモアレ縞を用いた半導体デバイスの格子歪分布の可視化」
日本電子 遠藤 徳明

4. 「SEMによる帯電応用計測」
日立中研 津野 夏規


第207回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成25年10月4日(金))

1.「MNE2013報告」
兵庫県立大学 松井 真二

2. 「電子ビームリソグラフィを用いた3次元ナノ加工」
NTT物性化学基礎研究所 山崎 謙治

3. 「機能性表面で多様な電子ビームを生成する半導体フォトカソード」
名古屋大学 西谷 智博

4. 「放射光単色X線の医学イメージング応用」
高エネルギー加速器研究機構 兵藤 一行

5. 「冷陰極HAPP撮像板の開発」
NHK放送技術研究所 難波 正和


第208回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成25年12月13日(金))

1.「ICIS ’13国際会議報告」
京都大学・工学研究科 龍頭 啓充

2. 「重イオンビームの照射効果を利用した高分子ナノ加工とその応用」
日本原子力研究開発機構 前川 康成

3. 「イオンビームによる高アスペクト加工」
芝浦工業大学・工学部 西川 宏之

4. 「自動収差補正機能を搭載した走査透過型電子顕微鏡HD-2700開発」
日立ハイテクノロジーズ 平山 陽一

5. 「電子顕微鏡における球面収差補正技術」
日本電子 近藤 行人、細川史生、沢田英敬


第209回研究会 弘済会館 (平成26年1月17日(金))

1.「リソグラフィにおけるラインエッジラフネス生成機構と極限解像度」
大阪大学産業科学研究所 古澤 孝弘

2. 「Langmuir limitを超える電子銃輝度の測定」
中筋 護

3. 「高速・大面積電子線描画装置を用いた超微細・短TATマイクロナノ研究スキームとその成果」
東京大学大学院工学系研究科 久保田 雅則

4. 「TEMとAFMを用いた半導体デバイスの不良解析」
(株)富士通研究所 添田 武志


第210回研究会 第3回荷電粒子ビーム基礎講座 産業技術総合研究所 (平成26年2月7日(金))

1. 「四極子-八極子による球面(開口)収差の補正」
産業技術総合研究所 岡山 重夫

2. 「電子散乱のシミュレーションによる帯電プロセスの解析」
大阪府立大学 安田 雅昭

3. 「イオンビーム輸送の基礎」
中部大学 石川 順三



第211回研究会 弘済会館 (平成26年6月20日(金))

1.「EIPBN2014国際会議報告」
東京理科大学 谷口 淳

2. 「電子ビームによる微細加工と熱加工」(仮題)
株式会社エリオニクス 小島 靖彦

3. 「電子ビーム溶接の概要と産業への適用」
東成エレクトロビーム株式会社 指田 達也

4. 「電子ビーム蒸着について」 (仮題)
日本電子株式会社 谷口 明

5. 「低エネルギー電子線の産業利用」(仮題)
株式会社アイ・エレクトロンビーム 武井 太郎


第212回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成26年10月3日(金))

1.「MNE2014報告」
東京理科大学 海野 徳幸

2. 「電子線リソグラフィにおけるパターン形成過程の分子シミュレーション」
大阪府立大学 安田 雅昭

3. 「電子ビーム描画装置用タレット型電子銃」
ニューフレアテクノロジー 宮本 房雄

4. 「スピン偏極透過電子顕微鏡」
名古屋大学 桑原 真人

5. 「電子ビームらせん波」
日立製作所中央研究所 原田 研


第213回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成26年12月12日(金))

1.「IIT2014国際会議報告」
京都大学・工学研究科 高岡 義寛

2. 「産総研ヘリウムイオン顕微鏡技術の現状および海外の状況」
産業技術総合研究所 小川 真一

3. 「新型トリプルビーム装置”NX2000”の紹介」
日立ハイテクサイエンス 杉山 安彦

4. 「共軸型軌道補正器とその応用に関する考察」
日立ハイテクノロジーズ・研究開発本部 伊藤 博之

5. 「巻線極子系の基本特性と球面収差補正への応用」
大阪大学・超高圧電子顕微鏡センター 西 竜治


第214回研究会 弘済会館 (平成27年1月16日(金))

1.「集束電極一体型微小電子源の作製」
産業技術総合研究所 長尾 昌善

2. 「光ビームプラットフォームの取組みおよび光ビームの産業利用の状況」
高エネルギー加速器研究機構 伴 弘司 

3. 「EBM-9000(仮題)」
ニューフレアテクノロジー 小島 義則

4. 「試料内部構造を観るためのSEM/TEM試料作製技術」
日本電子 鈴木 俊明


第215回研究会 第4回荷電粒子ビーム基礎講座 産業技術総合研究所 臨海副都心センター (平成27年2月6日(金))

1.「 3MV超高圧電子顕微鏡H-3000の開発」
阪大超高圧  鷹岡 昭夫、吉田 清和
日立計測器事  勝田 禎治、松井 功

2. 「最近の電子線測長技術―半導体の進歩と測長技術の動向―」
日立計測器事 大高 正

3. 「Ta製大口径高分解能フレネルゾーンプレートの製作」
NTT光エレクトロニクス研  玉村 敏明、石井 哲好
NTTアドバンテステクノロジ  小澤 章、吉原 秀雄
高エネルギー物理学研究所  篭島 靖

4. 「国際会議報告EIPBN '96」
東芝ULSI研  服部 清司


第216回研究会 弘済会館 (平成27年6月19日(金))

1.「EIPBN2015国際会議報告」
東京理科大学 三好 秀龍

2. 「Zr/O/Wショットキー電子源の表面構造」
株式会社日立製作所 松永 宗一郎

3. 「マルチビームSEM による革新的ハイスループットイメージングの実現」(仮題)
カールツァイスマイクロスコピー株式会社 河野 一郎

4. 「デコンボリューション技術の適用によるSEM表面画像の高解像度化」(仮題)
日本エフイー・アイ株式会社 葦原 雅道

5. 「SEMの二次電子検出器/何をどう見るか?」
物質・材料研究機構 関口 隆史


第217回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成27年10月2日(金))

1.「MNE2015国際会議報告」
東京理科大学 基礎工学部 谷口 淳

2. 「最新のTOF-SIMS技術」
(株)日立ハイテクサイエンス 橋本 学

3. 「Practical Application of Atom Probe to Analysis on Ion Implantation」
アメテック(株)カメカ事業部 Ty Prosa、趙 成洙

4. 「クラスターイオンビームの二次イオン質量分析(SIMS)への応用」
産業技術総合研究所 計量標準総合センター 藤原 幸雄

5. 「超高圧電子顕微鏡を用いた電子線透過能の研究とトモグラフィー観察への応用」
大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター 山崎 順


第218回研究会 東京理科大学 森戸記念館 (平成27年12月4日(金))

1.「フィンランドVTT在外研究報告」
東京理科大学 基礎工学部 谷口 淳

2. 「ヘリウムイオン顕微鏡の最新動向」
産業技術総合研究所 小川 真一

3. 「荷電粒子ビーム技術によるナノメカニクス研究」
東京大学 工学系研究科 米谷 玲皇

4. 「円環/円孔電極を用いた電界型球面収差補正器の開発」
ファインセラミックスセンター 川崎 忠寛

5. 「球面収差補正器を搭載した超高圧ホログラフィー電子顕微鏡」
日立製作所 基礎研究センター 高橋 由夫


第219回研究会 弘済会館 (平成28年1月15日(金))

1.「電子ビーム金属3D Printerの最新動向」
エイチ・ティー・エル 赤野 恒夫

2. 「電子ビームを用いた金属積層造形技術と将来展望」
東北大学 金属材料研究所 千葉 晶彦

3. 「電子ビーム制御技術の3Dプリンタ応用と造形管理」
日本電子 眞部 弘宣

4. 「立体可視化ソフトウェアHawkCによる実体モデル化」
大阪工業大学 情報科学部 井上 雄紀


第220回研究会 第5回荷電粒子ビーム基礎講座 産業技術総合研究所 臨海副都心センター (平成28年2月5日(金))

1.「電界イオン顕微鏡・アトムプローブ法の原理と応用」   
国立研究開発法人 物質・材料研究機構 大久保 忠勝

2. 「ナノクラスターイオンビーム技術」
京都大学工学部研究科 高岡 義寛