現在のＩＴ社会には欠かせない半導体、ＬＳＩ、これらの加工・製造などに用いられるマイクロ波プラズマプロセス。 当研究室ではこのプラズマプロセスに用いられるアンテナの電磁界解析および設計を行っています。 ※ 東京理科大学 理工学部 電気電子情報工学科 小越研究室との共同研究
